Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Бібліографічні деталі
Автор:	Сунь Чжилэй
Співавтори:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Інші автори:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Резюме:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Мова:	Російська
Опубліковано:	Томск, 2020
Предмети:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ диссертации закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности тонкие пленки оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Онлайн доступ:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Формат:	Електронний ресурс Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238

Інтернет

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284