Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Coauteurs: | , |
| Andere auteurs: | |
| Samenvatting: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
| Taal: | Russisch |
| Gepubliceerd in: |
Томск, 2020
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284 |
| Formaat: | Elektronisch Boek |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238 |
| Fysieke beschrijving: | 1 файл (7 816 КБ) |
|---|---|
| Samenvatting: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |