Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Сунь Чжилэй
Egile korporatiboa:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Beste egile batzuk:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Gaia:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	Томск, 2020
Gaiak:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ диссертации закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности тонкие пленки оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Sarrera elektronikoa:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238

Deskribapena
Deskribapen fisikoa:	1 файл (7 816 КБ)
Gaia:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.

Antzeko izenburuak