Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Сунь Чжилэй
Coauteurs: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Andere auteurs: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Samenvatting:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.
Taal:Russisch
Gepubliceerd in: Томск, 2020
Onderwerpen:
Online toegang:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Formaat: Elektronisch Boek
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238
Omschrijving
Fysieke beschrijving:1 файл (7 816 КБ)
Samenvatting:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.