Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
| Autor principal: | |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Outros Autores: | |
| Resumo: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
Томск, 2020
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284 |
| Formato: | Recurso Electrónico Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238 |
| Descrição Física: | 1 файл (7 816 КБ) |
|---|---|
| Resumo: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |