Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Сунь Чжилэй
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Outros Autores: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Resumo:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.
Idioma:russo
Publicado em: Томск, 2020
Assuntos:
Acesso em linha:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Formato: Recurso Electrónico Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238
Descrição
Descrição Física:1 файл (7 816 КБ)
Resumo:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.