Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Сунь Чжилэй
Collectivités auteurs:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Autres auteurs:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Résumé:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Langue:	russe
Publié:	Томск, 2020
Sujets:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Accès en ligne:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264
Format:	Électronique Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237

Documents similaires

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
par: Сунь Чжилэй
Publié: (Томск, 2020)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
par: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publié: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
par: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publié: (Томск, 2011)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
par: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Publié: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
par: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publié: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
par: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publié: (Томск, 2011)

Структурные превращения в тонких пленках
par: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publié: (Москва, Металлургия, 1988)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
par: Шафизаде Р. Б.
Publié: (Баку, Элм, 1983)

Структурные превращения в тонких пленках
par: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publié: (Москва, Металлургия, 1982)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Сунь Чжилэй
Publié: (2020)

Ультрадисперсные частицы и их ансамбли: сборник научных трудов
Publié: (Киев, Наукова думка, 1982)

Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
par: Ильинский А. И. Александр Иванович
Publié: (Москва, Металлургия, 1986)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
par: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Publié: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
par: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Publié: (Минск, Наука и техника, 1989)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
par: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publié: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
par: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publié: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
par: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publié: (2009)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2018)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
par: Иванова Н. М.
Publié: (2014)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2018)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
par: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Publié: (Томск, 2024)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, 2018)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
par: Мазурик Е. А.
Publié: (2014)

Рост пленок: учебное пособие
par: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publié: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Поверхностные свойства и исследование in vitro пленок на основе оксида и оксинитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publié: (2013)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publié: (2014)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
par: Гавриленко А. В.
Publié: (2023)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publié: (2012)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
par: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publié: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Publié: (2013)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Publié: (2017)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
par: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publié: (2013)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
par: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publié: (2010)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
par: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Publié: (2011)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
par: Данилина Т. И.
Publié: (Томск, 1970)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publié: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
par: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publié: (Томск, 2017)

Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Publié: (2015)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
par: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publié: (2012)

Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publié: (2013)