Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства, автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Сунь Чжилэй
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Other Authors:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Published:	Томск, 2020
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237

Similar Items

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец.05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.15
by: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Структурные превращения в тонких пленках
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Москва, Металлургия, 1982)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
by: Шафизаде Р. Б.
Published: (Баку, Элм, 1983)

Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
by: Ильинский А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Металлургия, 1986)

Ультрадисперсные частицы и их ансамбли сборник научных трудов
Published: (Киев, Наукова думка, 1982)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Спец. 01.04.07
by: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
by: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Рост пленок учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05299
by: Данилина Т. И.
Published: (Томск, 1970)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
by: Иванова Н. М.
Published: (2014)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией
by: Гавриленко А. В.
Published: (2023)

Поверхностные свойства и исследование in vitro пленок на основе оксида и оксинитрида титана
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (2013)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2016)

Thin Films and Multilayers for Electronics study aid
Published: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2013)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering
Published: (2017)

Электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пленок оксида галлия автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
by: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
Published: (Томск, 2025)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
by: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Published: (2014)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Published: (2013)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
by: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Published: (2011)