Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства, автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author: Сунь Чжилэй
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Other Authors: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (727)
Summary:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.
Published: Томск, 2020
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264
Format: Electronic Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237