Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Korporace: | , |
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Томск, 2020
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264 |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237 |