Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Сунь Чжилэй
निगमित लेखकों: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
अन्य लेखक: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
सारांश:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.
भाषा:रूसी
प्रकाशित: Томск, 2020
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264
स्वरूप: इलेक्ट्रोनिक पुस्तक
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237