Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Сунь Чжилэй
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Andre forfattere:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 2020
Fag:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264