Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск, 2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264 |
| Format: | MixedMaterials Electronic Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237 |
MARC
| LEADER | 00000nlm0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 345237 | ||
| 005 | 20231102005742.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\377074 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\377070 | ||
| 090 | |a 345237 | ||
| 100 | |a 20201015d2020 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a dm 000zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства |b Электронный ресурс |e автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук |e спец. 01.04.07 |f Сунь Чжилэй |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. Ф. Пичугин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 210 | |a Томск |d 2020 | ||
| 215 | |a 1 файл (1 898 КБ) | ||
| 230 | |a Электронные текстовые данные (1 файл : 1 898 КБ) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 300 | |a Защита сост. 16.12.2020 г. | ||
| 606 | 1 | |a Пленки тонкие |x Получение |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49230 |9 68031 | |
| 606 | 1 | |a Пленки тонкие |x Структура |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49237 |9 68038 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a авторефераты диссертаций | |
| 610 | 1 | |a закономерности | |
| 610 | 1 | |a формирование | |
| 610 | 1 | |a оксинитриды титана | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a структурные особенности | |
| 610 | 1 | |a оксиды титана | |
| 610 | 1 | |a биомедицинское применение | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a кристаллические структуры | |
| 610 | 1 | |a преломление | |
| 610 | 1 | |a фазовый состав | |
| 610 | 1 | |a шероховатости | |
| 610 | 1 | |a отжиг | |
| 610 | 1 | |a молекулярный состав | |
| 610 | 1 | |a смачивание | |
| 610 | 1 | |a спектроскопия | |
| 610 | 1 | |a термическая обработка | |
| 610 | 1 | |a фотокаталитическая активность | |
| 675 | |a 539.23(04) |v 4 | ||
| 675 | |a 539.216.2(04) |v 4 | ||
| 686 | |a 01.04.07 |2 oksvnk | ||
| 700 | 0 | |a Сунь Чжилэй |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1992- |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46146 | |
| 702 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Лаборатория плазменных гибридных систем |h 7887 |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23381 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |c (2017- ) |h 8118 |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20201109 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264 | |
| 942 | |c CF | ||