Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства, автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
| Published: |
Томск, 2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63264 |
| Format: | Electronic Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345237 |
| Physical Description: | 1 файл (1 898 КБ) |
|---|---|
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |