Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Шевелев А. Э. Алексей Эдуардович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 27.06.2019 г.
Published:	Томск, 2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций формирование высокоинтенсивные пучки ионы металлов низкие энергии плазма вакуумные дуги заряженные частицы ионная имплантация элементный состав приповерхностные слои плазменно-иммерсионное формирование вакуумно-дуговые разряды транспортировка фокусировка вакуумно-дуговая плазма
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342917

Internet