Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20

Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Шевелев А. Э. Алексей Эдуардович
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Altri autori:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (727)
Riassunto:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 27.06.2019 г.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Томск, 2019
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций формирование высокоинтенсивные пучки ионы металлов низкие энергии плазма вакуумные дуги заряженные частицы ионная имплантация элементный состав приповерхностные слои плазменно-иммерсионное формирование вакуумно-дуговые разряды транспортировка фокусировка вакуумно-дуговая плазма
Accesso online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316
Natura:	Elettronico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342917

Accesso online

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316