Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04

Bibliographic Details
Main Author:	Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Corporate Author:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Other Authors:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Summary:	Защита сост. 26.12.2018 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, [Б. и.], 2018
Subjects:	Углеродные пленки, тонкие > Получение Плазменная металлизация кремний-углеродные пленки алмазоподобные пленки формирование плазмохимическое осаждение плазмогенераторы описание вакуумные промежутки электрическая прочность повышение вакуумная изоляция вакуумное оборудование энергоемкость увеличение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313

Similar Items

Формирование графитоподобных наноструктур в углеродных пленках, полученных электродуговым методом автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.15
by: Хамдохов Э. З. Эльдар Залимович
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2018)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Якутск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок
by: Гренадёров А. С.
Published: (2018)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, 1998)

Mechanical and tribological characteristics of a-C:H:SiOx films formed by PACVD on titanium alloy VT1-0
Published: (2019)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1998)

Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов
Published: (2012)

Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных плёнок
by: Симонов С. В.
Published: (2002)

Исследование влияния условий синтеза на микроструктуру и состав пленок нанокристаллического и ультрананокристаллического алмаза автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 01.04.15
by: Титаренко А. А. Андрей Алексеевич
Published: (Нальчик, 2013)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы [монография]
by: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Published: (Москва, Техномаш, 2008)

Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий
by: Барвинок В. А. Виталий Алексеевич
Published: (Москва, Машиностроение, 1990)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
by: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Published: (Москва, Энергия, 1966)

Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge)
by: Золкин А. С.
Published: (2017)

Raman Spectroscopy Investigation of Laser-Irradiated Single-Walled Carbon Nanotube Films
by: Rodriguez (Rodriges) Contreras R. D. Raul David
Published: (2019)

Углеродные материалы. Свойства, технологии, применения учебное пособие
by: Колокольцев С. Н. Сергей Николаевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2012)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Published: (2008)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation
by: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Published: (2015)

Поверхностные и теплофизические свойства алмазов сборник научных трудов
Published: (Киев, Изд-во ИСМ, 1985)

Теоретические исследования и практическое применение плазменных износостойких покрытий
Published: (Свердловск, Изд-во НЦ АН СССР, 1983)

Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно- плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.16.09
by: Гурских А. В. Алексей Валерьевич
Published: (Томск, 2012)

Наноматериалы. Основы теории симметрии наноструктурных состояний. Тонкие пленки алмазоподобных материалов как наноструктурированные системы монография на основе расширенных пленарных докладов XII Международной научно-технической конференции; Москва, 7-9 сентября, 2006 г.
Published: (Москва, ЦНИТИ "Техномаш", 2006)

Плазменная технология в машиностроении [монография]
by: Стацура В. В. Вениамин Вениаминович
Published: (Красноярск, Изд-во Красноярского ун-та, 1990)

Наноструктуры и наноматериалы. Синтез, свойства и применение пер. с англ. 2-го изд.
by: Цао Г. Гочжун
Published: (Москва, Научный мир, 2012)

Dielectric Losses in Nanosized Ferroelectric and Diamond-Like Films on SHF
Published: (2019)

Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов
by: Суздалев И. П. Игорь Петрович
Published: (Москва, Либроком, 2009)

Химическая технология, свойства и применение пластмасс межвузовский сборник научных трудов
Published: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1983)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07
by: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Published: (Нальчик, 2013)

Физика, технологии и применение наносистем и наноматериалов
Published: (Москва, Изд-во НИЯУ МИФИ, 2012)

Лазерное восстановление оксида графена: локальное управление свойствами материала
Published: (2023)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Т. 1
Published: (1977)

Нанотехнологии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 2019)

Исследование процесса формирования композитных полимерных материалов на основе оксида графена под действием лазерного облучения
Published: (2022)

Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов
by: Суздалев И. П. Игорь Петрович
Published: (Москва, КомКнига, 2006)

Исследование реакции тромбоцитов на a-C:H:SiOx покрытие, полученное методом плазмохимического осаждения с использованием импульсного биполярного смещения
Published: (2020)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2010)

Материалы и методы нанотехнологии учебное пособие
by: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)