Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04

Bibliographic Details
Main Author: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Corporate Author: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Other Authors: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Summary:Защита сост. 26.12.2018 г.
Language:Russian
Published: Томск, [Б. и.], 2018
Subjects:
Углеродные пленки, тонкие > Получение
Плазменная металлизация
кремний-углеродные пленки
алмазоподобные пленки
формирование
плазмохимическое осаждение
плазмогенераторы
описание
вакуумные промежутки
электрическая прочность
повышение
вакуумная изоляция
вакуумное оборудование
энергоемкость
увеличение
авторефераты диссертаций
труды учёных ТПУ
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313

Similar Items