Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Corporate Author:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Other Authors:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Summary:	Защита сост. 26.12.2018 г.
Published:	Томск, [Б. и.], 2018
Subjects:	кремний-углеродные пленки алмазоподобные пленки формирование плазмохимическое осаждение плазмогенераторы описание вакуумные промежутки электрическая прочность повышение вакуумная изоляция вакуумное оборудование энергоемкость увеличение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313

Similar Items