|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
342313 |
| 005 |
20231102005435.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\371026
|
| 090 |
|
|
|a 342313
|
| 100 |
|
|
|a 20190123d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.04
|f А. С. Гренадёров
|g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьёв
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2018
|
| 215 |
|
|
|a 20 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 26.12.2018 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 19-20 (9 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Углеродные пленки, тонкие
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\78541
|9 87849
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменная металлизация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48948
|9 67764
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний-углеродные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a алмазоподобные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмогенераторы
|
| 610 |
1 |
|
|a описание
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные промежутки
|
| 610 |
1 |
|
|a электрическая прочность
|
| 610 |
1 |
|
|a повышение
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумная изоляция
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумное оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a энергоемкость
|
| 610 |
1 |
|
|a увеличение
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 539.23(04)
|v 4
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.04
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Гренадёров
|b А. С.
|g Александр Сергеевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Соловьёв
|b А. А.
|c специалист в области водородной энергетики
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1977-
|g Андрей Александрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук (РАН)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
|c (Томск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1124
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190123
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190212
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
