Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04

書目詳細資料
主要作者: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
企業作者: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
其他作者: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
總結:Защита сост. 26.12.2018 г.
語言:俄语
出版: Томск, [Б. и.], 2018
主題:
格式: 圖書
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313
實物特徵
實物描述:20 с. ил.
總結:Защита сост. 26.12.2018 г.