Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Körperschaft:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Weitere Verfasser:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Zusammenfassung:	Защита сост. 26.12.2018 г.
Veröffentlicht:	Томск, [Б. и.], 2018
Schlagworte:	кремний-углеродные пленки алмазоподобные пленки формирование плазмохимическое осаждение плазмогенераторы описание вакуумные промежутки электрическая прочность повышение вакуумная изоляция вакуумное оборудование энергоемкость увеличение авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313

Beschreibung
Beschreibung:	20 с. ил.
Zusammenfassung:	Защита сост. 26.12.2018 г.

Ähnliche Einträge