Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04
| 主要作者: | |
|---|---|
| 企業作者: | |
| 其他作者: | |
| 總結: | Защита сост. 26.12.2018 г. |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
Томск, [Б. и.], 2018
|
| 主題: | |
| 格式: | 圖書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342313 |
| 實物描述: | 20 с. ил. |
|---|---|
| 總結: | Защита сост. 26.12.2018 г. |