Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Coauteur: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Andere auteurs: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Samenvatting:Защита сост. 12.12.2018 г.
Taal:Russisch
Gepubliceerd in: Томск, [Б. и.], 2018
Onderwerpen:
Formaat: Boek
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342127