Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Шипилова А. В. Анна Викторовна
Corporate Author:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Other Authors:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Summary:	Защита сост. 12.12.2018 г.
Published:	Томск, [Б. и.], 2018
Subjects:	тонкопленочные топливные элементы твердооксидные топливные элементы многослойные структуры изготовление экспериментальные установки тонкие пленки формирование магнетронное осаждение пористые анодно-оксидные покрытия электронно-ионно-плазменные методы авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342127

Similar Items