Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoir: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Údar corparáideach: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Rannpháirtithe: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Achoimre:Защита сост. 12.12.2018 г.
Teanga:Rúisis
Foilsithe / Cruthaithe: Томск, [Б. и.], 2018
Ábhair:
Formáid: LEABHAR
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342127

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 342127
005 20231102005423.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\370696 
090 |a 342127 
100 |a 20181212d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a dm 001zy 
200 1 |a Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления  |e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  |e спец. 01.04.07  |f А. В. Шипилова  |g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьёв 
210 |a Томск  |c [Б. и.]  |d 2018 
215 |a 22 с.  |c ил. 
300 |a Защита сост. 12.12.2018 г. 
320 |a Библиогр.: с. 21-22 (18 назв.) 
452 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\369666  |t Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления  |o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  |o спец. 01.04.07  |f А. В. Шипилова  |g Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев  |c Томск  |d 2018  |a Шипилова, Анна Викторовна 
606 1 |a Электрохимия прикладная  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21017  |9 46069 
610 1 |a тонкопленочные топливные элементы 
610 1 |a твердооксидные топливные элементы 
610 1 |a многослойные структуры 
610 1 |a изготовление 
610 1 |a экспериментальные установки 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a формирование 
610 1 |a магнетронное осаждение 
610 1 |a пористые анодно-оксидные покрытия 
610 1 |a электронно-ионно-плазменные методы 
610 1 |a авторефераты диссертаций 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
675 |a 621.35(04)  |v 4 
686 |a 01.04.07  |2 oksvnk 
700 1 |a Шипилова  |b А. В.  |c специалист в области водородной энергетики  |c научный сотрудник Томского политехнического университета  |f 1982-  |g Анна Викторовна  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30709 
702 1 |a Соловьёв  |b А. А.  |c специалист в области водородной энергетики  |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1977-  |g Андрей Александрович  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694  |4 727 
712 0 2 |a Российская академия наук (РАН)  |b Сибирское отделение (СО)  |b Институт сильноточной электроники (ИСЭ)  |c (Томск)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\1124 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20181212 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20191125  |g RCR 
942 |c BK