Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Autor corporatiu: Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Altres autors: Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Sumari:Защита сост. 12.12.2018 г.
Idioma:rus
Publicat: Томск, [Б. и.], 2018
Matèries:
Электрохимия прикладная
тонкопленочные топливные элементы
твердооксидные топливные элементы
многослойные структуры
изготовление
экспериментальные установки
тонкие пленки
формирование
магнетронное осаждение
пористые анодно-оксидные покрытия
электронно-ионно-плазменные методы
авторефераты диссертаций
труды учёных ТПУ
Format: Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=342127
Descripció
Descripció física:22 с. ил.
Sumari:Защита сост. 12.12.2018 г.

Ítems similars