Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Шипилова А. В. Анна Викторовна
Autor Corporativo:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Outros Autores:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (научный руководитель)
Resumo:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Idioma:	russo
Publicado em:	Томск, 2018
Assuntos:	Электрохимия прикладная электронный ресурс диссертации структуры свойства тонкие пленки магнетронное распыление магнетронное осаждение электролиты топливные элементы распылительные системы аноды приповерхностные слои твердооксидные элементы покрытия измерительное оборудование многослойные структуры
Acesso em linha:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762
Formato:	Recurso Electrónico Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341568

Internet