Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Шипилова А. В. Анна Викторовна
Collectivité auteur:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Autres auteurs:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Résumé:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Langue:	russe
Publié:	Томск, 2018
Sujets:	Электрохимия прикладная электронный ресурс диссертации структуры свойства тонкие пленки магнетронное распыление магнетронное осаждение электролиты топливные элементы распылительные системы аноды приповерхностные слои твердооксидные элементы покрытия измерительное оборудование многослойные структуры
Accès en ligne:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762
Format:	Électronique Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341568

Internet