Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Шипилова А. В. Анна Викторовна
Corporate Author:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Other Authors:	Соловьёв А. А. Андрей Александрович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, 2018
Subjects:	электронный ресурс диссертации структуры свойства тонкие пленки магнетронное распыление магнетронное осаждение электролиты топливные элементы распылительные системы аноды приповерхностные слои твердооксидные элементы покрытия измерительное оборудование многослойные структуры
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341568

Internet