Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Otros Autores:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Sumario:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Томск, 2018
Materias:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры плазма распылительные системы магнетронные системы коррозионная стойкость
Acceso en línea:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341553

Internet