Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Altres autors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Sumari:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Idioma:	rus
Publicat:	Томск, 2018
Matèries:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры плазма распылительные системы магнетронные системы коррозионная стойкость
Accés en línia:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755
Format:	Electrònic Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341553

Internet