|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
341553 |
| 005 |
20260209150813.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\369607
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\369606
|
| 090 |
|
|
|a 341553
|
| 100 |
|
|
|a 20181008d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f Д. В. Сиделёв
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2018
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (3 592 KB)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\370722
|t Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью
|o диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 01.04.07
|f Д. В. Сиделёв
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|c Томск
|n [Б. и.]
|d 2018
|p 138 л.
|a Сиделёв, Дмитрий Владимирович
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочные покрытия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\75631
|9 87320
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a хром
|
| 610 |
1 |
|
|a никель
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные диоды
|
| 610 |
1 |
|
|a мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллические структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a коррозионная стойкость
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Сиделёв
|b Д. В.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1991-
|g Дмитрий Владимирович
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510
|9 17891
|
| 702 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|4 727
|9 9290
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190212
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
