Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Yhteisötekijä:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Muut tekijät:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Yhteenveto:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	Томск, 2018
Aiheet:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение покрытия хром никель магнетронные диоды мишени тонкие пленки тонкопленочные материалы магнетронное распыление металлические мишени кристаллические структуры плазма распылительные системы магнетронные системы коррозионная стойкость
Linkit:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52755
Aineistotyyppi:	Elektroninen Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=341553

Kuvaus
Ulkoasu:	1 файл (3 592 KB)
Yhteenveto:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Samankaltaisia teoksia