Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15

Bibliographic Details
Main Author:	Хамдохов А. З. Алим Залимович
Corporate Author:	Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х. М. Бербекова Кафедра электроники и информационных технологии
Other Authors:	Тешев Р. Ш. Руслан Шахбанович (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 21.12.2017 г.
Language:	Russian
Published:	Нальчик, [Б. и.], 2017
Subjects:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Применение в технике сверхвысоких частот тонкопленочная технология нитрид титана тонкопленочные покрытия защитные свойства субмикронные пленки авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340264

Similar Items