|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
340260 |
| 005 |
20240212125732.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\367003
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\367002
|
| 090 |
|
|
|a 340260
|
| 100 |
|
|
|a 20180312j20171227k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f А. В. Юрьева
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2017
|
| 215 |
|
|
|a 118 л.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защищена 27.12.2017 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 108-118 (108 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Магнетроны
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\40720
|9 60557
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазные мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовые превращения
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a скоростное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a модифицирующие плазменные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональные характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a медные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 621.385.64(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Алена Викторовна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232
|
| 702 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|4 727
|9 9290
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180312
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190201
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
