Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

書目詳細資料
主要作者:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
企業作者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
其他作者:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
總結:	Защищена 27.12.2017 г.
語言:	俄语
出版:	Томск, [Б. и.], 2017
主題:	Магнетроны жидкофазные мишени фазовые превращения металлические покрытия скоростное осаждение твердые тела модифицирующие плазменные покрытия магнетронные распылительные системы функциональные характеристики медные покрытия свойства исследование диссертации труды учёных ТПУ
格式:	圖書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340260

相似書籍