Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors: Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Summary:Защищена 27.12.2017 г.
Language:Russian
Published: Томск, [Б. и.], 2017
Subjects:
Магнетроны
жидкофазные мишени
фазовые превращения
металлические покрытия
скоростное осаждение
твердые тела
модифицирующие плазменные покрытия
магнетронные распылительные системы
функциональные характеристики
медные покрытия
свойства
исследование
диссертации
труды учёных ТПУ
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340260
Description
Physical Description:118 л. ил.
Summary:Защищена 27.12.2017 г.

Similar Items