Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

書誌詳細
第一著者:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
その他の著者:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
要約:	Защита сост. 27.12.2017 г.
言語:	ロシア語
出版事項:	Томск, [Б. и.], 2017
主題:	Магнетроны жидкофазные мишени фазовые превращения металлические покрытия скоростное осаждение твердые тела модифицирующие плазменные покрытия магнетронные распылительные системы функциональные характеристики медные покрытия свойства исследование авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
フォーマット:	図書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340259

その他の書誌記述
物理的記述:	22 с. ил.
要約:	Защита сост. 27.12.2017 г.

類似資料