Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 27.12.2017 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, [Б. и.], 2017
Subjects:	Магнетроны жидкофазные мишени фазовые превращения металлические покрытия скоростное осаждение твердые тела модифицирующие плазменные покрытия магнетронные распылительные системы функциональные характеристики медные покрытия свойства исследование авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340259

Description
Physical Description:	22 с. ил.
Summary:	Защита сост. 27.12.2017 г.

Similar Items