Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Altri autori:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Riassunto:	Защита сост. 27.12.2017 г.
Pubblicazione:	Томск, [Б. и.], 2017
Soggetti:	жидкофазные мишени фазовые превращения металлические покрытия скоростное осаждение твердые тела модифицирующие плазменные покрытия магнетронные распылительные системы функциональные характеристики медные покрытия свойства исследование авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340259

Descrizione
Descrizione fisica:	22 с. ил.
Riassunto:	Защита сост. 27.12.2017 г.

Documenti analoghi