Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Diğer Yazarlar:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Özet:	Защита сост. 27.12.2017 г.
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Томск, [Б. и.], 2017
Konular:	Магнетроны жидкофазные мишени фазовые превращения металлические покрытия скоростное осаждение твердые тела модифицирующие плазменные покрытия магнетронные распылительные системы функциональные характеристики медные покрытия свойства исследование авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Materyal Türü:	Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=340259

Benzer Materyaller