Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Awdur Corfforaethol:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Awduron Eraill:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Crynodeb:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	Томск, 2017
Pynciau:	Магнетроны электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ осаждение металлические покрытия жидкофазные мишени тонкие пленки материаловедение магнетронные распылительные системы самораспыление физико-механические свойства медные покрытия теплофизические характеристики
Mynediad Ar-lein:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45781
Fformat:	MixedMaterials Electronig Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336975

Rhyngrwyd