Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью, автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, 2017
Subjects:	электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ осаждение металлические покрытия жидкофазные мишени тонкие пленки материаловедение магнетронные распылительные системы самораспыление физико-механические свойства медные покрытия теплофизические характеристики
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45781
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336975

Internet