Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью, автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Άλλοι συγγραφείς:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Περίληψη:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Έκδοση:	Томск, 2017
Θέματα:	электронный ресурс авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ осаждение металлические покрытия жидкофазные мишени тонкие пленки материаловедение магнетронные распылительные системы самораспыление физико-механические свойства медные покрытия теплофизические характеристики
Διαθέσιμο Online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45781
Μορφή:	Ηλεκτρονική πηγή Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336975

Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:	1 файл (1 295 KB)
Περίληψη:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Παρόμοια τεκμήρια