Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299

Bibliographic Details
Main Author:	Данилина Т. И.
Corporate Author:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Other Authors:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
Summary:	Защита сост. в 1970 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, 1970
Subjects:	Диэлектрические материалы > В микроэлектронике Пленки тонкие > Получение диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336941

Similar Items

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Данилина Т. И.
Published: (Томск, 1970)

Гибкие материалы и структуры на основе фторированного графена для мемристоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Иванов А. И. Артем Ильич
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
by: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
by: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
by: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
by: Шафизаде Р. Б.
Published: (Баку, Элм, 1983)

Рост пленок: учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Смирнова К. И.
Published: (Томск, 1971)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Шандра З. А.
Published: (Томск, [Б. и.], 1972)

Пробой тонких диэлектрических пленок
by: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
Published: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
by: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Published: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, 1998)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1998)

Формирование высокоэнтропийного сплава методами ионно-плазменных технологий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Published: (2020)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
by: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Published: (Москва, Энергия, 1966)

Введение в интегральную оптику: [монография]
by: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
Published: (Минск, Наука и техника, 1975)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2005)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
by: Лютович А. С.
Published: (Ташкент, Фан, 1982)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
by: Твердохлеб П. Е.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2019)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
by: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Published: (Новосибирск, 2023)

Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок
Published: (Новосибирск, Наука, 1972)

Диэлектрические свойства пленок полимерных композитов с сегнетоэлектрическим наполнителем; Наукоемкие технологии; № 1
Published: (2004)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)