Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Данилина Т. И.
Collectivité auteur:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Autres auteurs:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
Résumé:	Защита сост. в 1970 г.
Langue:	russe
Publié:	Томск, 1970
Sujets:	Диэлектрические материалы > В микроэлектронике Пленки тонкие > Получение диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336941

Documents similaires

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
par: Данилина Т. И.
Publié: (Томск, 1970)

Гибкие материалы и структуры на основе фторированного графена для мемристоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
par: Иванов А. И. Артем Ильич
Publié: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
par: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Publié: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
par: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Publié: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2018)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
par: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Publié: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
par: Шафизаде Р. Б.
Publié: (Баку, Элм, 1983)

Рост пленок: учебное пособие
par: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publié: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, 2018)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
par: Сунь Чжилэй
Publié: (Томск, 2020)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
par: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publié: (Томск, 2011)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
par: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publié: (Томск, 2018)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
par: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Publié: (Томск, 2024)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
par: Сунь Чжилэй
Publié: (Томск, 2020)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
par: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publié: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
par: Смирнова К. И.
Publié: (Томск, 1971)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
par: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Publié: (Москва, Энергия, 1979)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
par: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publié: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
par: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publié: (Томск, 2011)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Publié: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
par: Шандра З. А.
Publié: (Томск, [Б. и.], 1972)

Пробой тонких диэлектрических пленок
par: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Publié: (Москва, Советское радио, 1977)

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
Publié: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
par: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Publié: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
par: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Publié: (Томск, 1998)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
par: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Publié: (Томск, [Б. и.], 1998)

Введение в интегральную оптику: [монография]
par: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
Publié: (Минск, Наука и техника, 1975)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
par: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Publié: (Москва, Энергия, 1966)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Publié: (2011)

Формирование высокоэнтропийного сплава методами ионно-плазменных технологий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Publié: (2020)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
par: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Publié: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
par: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Publié: (Томск, [Б. и.], 2005)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
par: Лютович А. С.
Publié: (Ташкент, Фан, 1982)

Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок
Publié: (Новосибирск, Наука, 1972)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
par: Твердохлеб П. Е.
Publié: (Новосибирск, НГТУ, 2019)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
par: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Publié: (Новосибирск, 2023)

Диэлектрические свойства пленок полимерных композитов с сегнетоэлектрическим наполнителем; Наукоемкие технологии; № 1
Publié: (2004)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
par: Ли Цзень Фень
Publié: (Томск, [Б. и.], 2006)

Электродинамика метаматериалов: пер. с англ.
par: Сарычев А. К. Андрей К.
Publié: (Москва, Научный мир, 2011)