Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Данилина Т. И.
Corporate Author:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Other Authors:	Воробьев А. А. Александр Акимович (727), Крейндель Ю. Е.
Summary:	Защита сост. в 1970 г.
Published:	Томск, 1970
Subjects:	диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336941

Similar Items