Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Данилина Т. И.
Korporativna značnica:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Drugi avtorji:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
Izvleček:	Защита сост. в 1970 г.
Jezik:	ruščina
Izdano:	Томск, 1970
Teme:	Диэлектрические материалы > В микроэлектронике Пленки тонкие > Получение диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций
Format:	MixedMaterials Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336941

Podobne knjige/članki