Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Данилина Т. И.
Collectivité auteur:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Autres auteurs:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
Résumé:	Защита сост. в 1970 г.
Langue:	russe
Publié:	Томск, 1970
Sujets:	Диэлектрические материалы > В микроэлектронике Пленки тонкие > Получение диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336941

Description
Description matérielle:	16 с. ил.
Résumé:	Защита сост. в 1970 г.

Documents similaires