Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Данилина Т. И.
Autor Corporativo:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Outros autores:	Воробьев А. А. Александр Акимович (727), Крейндель Ю. Е.
Summary:	Защита сост. в 1970 г.
Publicado:	Томск, 1970
Subjects:	диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ авторефераты диссертаций
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336941

Descripción
Descrición Física:	16 с. ил.
Summary:	Защита сост. в 1970 г.

Títulos similares