|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
336491 |
| 005 |
20231102004847.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\362907
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\362906
|
| 090 |
|
|
|a 336491
|
| 100 |
|
|
|a 20171016d1978 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Вып. 3
|
| 210 |
|
|
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 199 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\288648
|x 0320-4502
|t Активируемые процессы технологии микроэлектроники
|o междуведомственный тематический научный сборник
|f Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ)
|v Вып. 3
|d 1975-1986
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектронные схемы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43828
|9 63270
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a фтор
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a облучение
|
| 610 |
1 |
|
|a транзисторы
|
| 610 |
1 |
|
|a эрозия
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|z rus
|v 3
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150512
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171017
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
