Вып. 3; Активируемые процессы технологии микроэлектроники

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 3.— , 1975-1986.— 0320-4502
Sprog:	russisk
Udgivet:	1978
Fag:	Микроэлектронные схемы > Производство диэлектрики фтор кремний имплантация облучение транзисторы эрозия поверхности полупроводники
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336491

Lignende værker