(1978). Вып. 3; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1978.
Chicago Style (17th ed.) CitationВып. 3; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1978, 1978.
MLA citiranjeВып. 3; Активируемые процессы технологии микроэлектроники. 1978, 1978.
Opozorilo: Ti citati niso vedno 100% točni.