Вып. 4; Активируемые процессы технологии микроэлектроники

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 4.— , 1975-1986.— 0320-4502
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	1978
Schlagworte:	Микроэлектронные схемы > Производство легированные пленки бор кремний диффузия математические модели электронно-лучевые методы тонкие пленки тугоплавкие металлы резисторы окисление алмазы
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=336490

Ähnliche Einträge