|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
335736 |
| 005 |
20240212120402.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\362148
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\362147
|
| 090 |
|
|
|a 335736
|
| 100 |
|
|
|a 20171002d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f А. В. Юрьева
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2017
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (3 210 KB)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 606 |
1 |
|
|a Магнетроны
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\40720
|9 60557
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазные мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовые превращения
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a спектрометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональные характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a медные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 675 |
|
|
|a 621.385.64(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Алена Викторовна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232
|
| 702 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|4 727
|9 9290
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180404
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
