Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Weitere Verfasser:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Томск, 2017
Schlagworte:	электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение металлические покрытия жидкофазные мишени фазовые превращения плазма спектрометрия функциональные характеристики медные покрытия пленки мишени магнетронные распылительные системы
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
Format:	Elektronisch Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=335736

Online