Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Юрьева А. В. Алена Викторовна
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Drugi avtorji:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Izvleček:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Jezik:	ruščina
Izdano:	Томск, 2017
Teme:	Магнетроны электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ осаждение металлические покрытия жидкофазные мишени фазовые превращения плазма спектрометрия функциональные характеристики медные покрытия пленки мишени магнетронные распылительные системы
Online dostop:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43215
Format:	Elektronski Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=335736

Internet