|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
330441 |
| 005 |
20231102004247.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\356215
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\356214
|
| 090 |
|
|
|a 330441
|
| 100 |
|
|
|a 20170405d1978 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники
|f под ред. Е. К. Ковшикова
|
| 210 |
|
|
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 258 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\314813
|t Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|v Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники
|d 1968-
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43811
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a технологическое оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a узлы
|
| 610 |
1 |
|
|a промышленные роботы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные изделия
|
| 610 |
1 |
|
|a расчеты
|
| 610 |
1 |
|
|a остаточные напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a снижение
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Ковшиков
|b Е. К.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170405
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170518
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
