Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники

Bibliographic Details
Parent link:	Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники/ Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ). Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники.— , 1968-
Other Authors:	Ковшиков Е. К. (340)
Language:	Russian
Published:	1978
Subjects:	технологическое оборудование узлы промышленные роботы микроэлектронные изделия расчеты остаточные напряжения снижение
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=330441

Similar Items