Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники

Podrobná bibliografie
Parent link:	Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники/ Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ). Вып. 39 : Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники.— , 1968-
Další autoři:	Ковшиков Е. К. (редактор)
Jazyk:	ruština
Vydáno:	1978
Témata:	Микроэлектроника технологическое оборудование узлы промышленные роботы микроэлектронные изделия расчеты остаточные напряжения снижение
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=330441

Popis
Fyzický popis:	258 с. ил.

Podobné jednotky