Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления, диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07

Opis bibliograficzny
1. autor: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Korporacja: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Kolejni autorzy: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (727)
Streszczenie:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Język:rosyjski
Wydane: Томск, 2016
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Format: Elektroniczne Książka
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=328590

Podobne zapisy