Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления, диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Other Authors:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, 2016
Subjects:	электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ физико-механические свойства пленки диоксид титана оксинитрид титана реактивное магнетронное распыление механические свойства структуры элементный состав импульсное магнетронное распыление масс-спектрометрия рентгенофазовый анализ
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=328590

Internet