Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Библиографические подробности
Главный автор: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Автор-организация: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Другие авторы: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (научный руководитель)
Примечания:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Язык:русский
Опубликовано: Томск, 2016
Предметы:
Online-ссылка:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Формат: Электронный ресурс Книга
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=328590