|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
328590 |
| 005 |
20250522160118.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\354290
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\354270
|
| 090 |
|
|
|a 328590
|
| 100 |
|
|
|a 20170220d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|e спец. 01.04.07
|f Е. С. Киселева
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Н. Н. Никитенков
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2016
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (3338 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\349465
|t Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
|o диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|o спец. 01.04.07
|f Е. С. Киселева
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Н. Н. Никитенков
|c Томск
|n [Б. и.]
|d 2016
|p 113 л.
|a Киселева, Евгения Сергеевна
|
| 606 |
|
|
|a Тонкопленочные покрытия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\75631
|9 87320
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-механические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a диоксид титана
|
| 610 |
1 |
|
|a оксинитрид титана
|
| 610 |
1 |
|
|a реактивное магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a механические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a элементный состав
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсное магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a масс-спектрометрия
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгенофазовый анализ
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Киселева
|b Е. С.
|c физик
|c старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1982-
|g Евгения Сергеевна
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31773
|9 15884
|
| 702 |
|
1 |
|a Никитенков
|b Н. Н.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1953-
|g Николай Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра общей физики (ОФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18734
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170316
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
