Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Outros Autores:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (научный руководитель)
Resumo:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Idioma:	russo
Publicado em:	Томск, 2016
Assuntos:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ физико-механические свойства пленки диоксид титана оксинитрид титана реактивное магнетронное распыление механические свойства структуры элементный состав импульсное магнетронное распыление масс-спектрометрия рентгенофазовый анализ
Acesso em linha:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Formato:	Recurso Electrónico Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=328590

Descrição
Descrição Física:	1 файл (3338 Kb)
Resumo:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Registos relacionados