Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Outros autores:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, 2016
Subjects:	Тонкопленочные покрытия электронный ресурс диссертации труды учёных ТПУ физико-механические свойства пленки диоксид титана оксинитрид титана реактивное магнетронное распыление механические свойства структуры элементный состав импульсное магнетронное распыление масс-спектрометрия рентгенофазовый анализ
Acceso en liña:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37527
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=328590

Descripción
Descrición Física:	1 файл (3338 Kb)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации

Títulos similares